NGL

Next Generation Lithography

次世代リソグラフィ

Lithographyとは、本来、平面に化学的処理をしてインクがのるところ(画線部)とインクをはじくところ(非画線部)を作り出し、これを版にして印刷する平版方式のことで、この技術を応用して、小型で高密度な半導体のマスクを作り、チップの設計をしてきたが、限界に近づいてきていることから、模索されている次世代のLithographyのことです。

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